• Básicamente hay dos etapas en el proceso de datación por radiocarbono por medio del acelerador de espectrometría de masa. La primera implica la aceleración de iones a una energía cinética extraordinariamente alta, mientras que el paso siguiente implica el análisis de masa. Hay dos aceleradores de sistemas comúnmente usados para la datación por radiocarbono con acelerador de espectrometría de masa: aceleradores ciclotrón y de tándem electrostático.
• La mayor ventaja de la datación por radiocarbono con AEM sobre los métodos radiométricos es el pequeño tamaño de la muestra. El acelerador de espectrometría de masa necesita solo una muestra que puede ir de 20 mg a 500 mg, mientras que los métodos tradicionales necesitan por lo menos 10 gramos de muestra, como sería el caso de la madera y el carbón, hasta 100 gramos en huesos y sedimentos. El acelerador de espectrometría de masa usualmente necesita muestras que son 1000 veces menores que las que se usan en los métodos convencionales.
• Además el acelerador de espectrometría de masa necesita menos tiempo para analizar las muestras con contenido de carbono 14 que los métodos radiométricos de datación, que pueden tomar uno o dos días. El acelerador de espectrometría de masa puede necesitar unas pocas horas por muestra. Las mediciones con AEM alcanzan generalmente una mayor precisión y requieren menos antecedentes que los métodos radiométricos de datación.

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